丁香五月缴情综合网,五月丁香综合缴情六月,中文字幕av免费专区久久,国产美女在线一区二区三区

歡迎來到英國(guó)普拉勒科技有限公司-普拉勒(南京)儀器科技有限公司!
銷售咨詢熱線:
13951716344
Article儀器百科
首頁 > 儀器百科 > 氫氣發(fā)生器在CVDMOCVD行業(yè)的運(yùn)用

氫氣發(fā)生器在CVDMOCVD行業(yè)的運(yùn)用

瀏覽:2947次

   氫氣在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

  半導(dǎo)體制造技術(shù)作為信息時(shí)代制造的基礎(chǔ),堪比工業(yè)時(shí)代的機(jī)床,是整個(gè)社會(huì)發(fā)展的基石和原動(dòng)力。在產(chǎn)業(yè)分工格局重塑的關(guān)鍵時(shí)期,我國(guó)也提出了《中國(guó)制造2025》,以通過智能制造實(shí)現(xiàn)由制造大國(guó)向制造強(qiáng)國(guó)的轉(zhuǎn)換。智能制造(工業(yè)4.0)的實(shí)現(xiàn),以各種信息器件的使用為基礎(chǔ),半導(dǎo)體制造技術(shù)正是其制造的核心技術(shù)。
  而氫氣作為半導(dǎo)體制造中的氣源,在半導(dǎo)體材料及器件制備中起到至關(guān)重要的作用??稍诠怆娖骷鞲衅?、IC制造中應(yīng)用。
  目前半導(dǎo)體工藝中氫氣主要用于退火、外延生長(zhǎng)、干法刻蝕等工藝。
  退火是通過高溫加熱釋放材料內(nèi)部應(yīng)力從而改善材料質(zhì)量的一種材料處理辦法,氫氣作為保護(hù)氣可以起到防止氧化等作用,多用于薄膜生長(zhǎng)后釋放應(yīng)力。
  氫氣也可以應(yīng)用在化學(xué)氣相沉積(ChemicalVaporDepositon)薄膜生長(zhǎng)?;瘜W(xué)氣相沉積是一種利用固態(tài)-氣態(tài)反應(yīng)、氣態(tài)-氣態(tài)反應(yīng)生成薄膜的設(shè)備,如在CVD工藝中作為還原性氣體制備二維材料MOS2、WS2等;等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)工藝中作為還原性氣體制備石墨烯、單晶硅、碳化硅等;電子回旋共振化學(xué)氣相沉積(ECR-CVD)中作為反應(yīng)氣體在單晶硅襯底上制備金剛石薄膜;金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)設(shè)備中作為載氣制備光電材料GaN、AlGaN等。同時(shí)氫氣也可以在原子層沉積(AtomicLayerDeposition)中使用。
  氫氣在等離子體刻蝕(RIE/ICP)中作為反應(yīng)氣體出現(xiàn),等離子體刻蝕原理是利用反應(yīng)氣體離化后與材料發(fā)生反應(yīng)生成揮發(fā)性物質(zhì),從而實(shí)現(xiàn)材料圖形化,是半導(dǎo)體器件制備的*工藝。
  普拉勒氫氣發(fā)生器目前已大量應(yīng)用在以上工藝中,為半導(dǎo)體材料及器件制備提供好的氣源。

 

郵件聯(lián)系我們:njycf@ukpeculiar.com

掃碼關(guān)注掃一掃,關(guān)注微信服務(wù)號(hào)
©2024 英國(guó)普拉勒科技有限公司-普拉勒(南京)儀器科技有限公司 版權(quán)所有 備案號(hào):蘇ICP備17031188號(hào)-2
技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng) 管理登陸 sitemap.xml
国产一区二区不卡在线播放| 老汉色老汉首页a亚洲| 亚洲熟女一区二区三区| 国产日韩精品一区在线不卡| 逛街突然开了遥控器的体验| 国产精品视频久久久| 久久国内精品情侣主播A级| 中文字幕日本一区| 四虎国产成人永久精品免费| 区亚洲综合第1页| 99视频在线精品自拍| 亚洲国产精品suv| 日韩小视频在线观看网址| 中日韩一卡2卡三卡4卡网站| 欧美FREESEX黑人又粗又大 | 97久久天天综合色天天综合88| 日韩精品在线电影| 一二三四在线播放免费视频| 亚洲2022国产成人精品无码区| 99久久99久久精品国产片果冻| 丝袜人妻一区二区三区网站| 亚洲综合一区日韩| 欧美国产亚洲精品高清不卡| 成 人 免费 黄 色 网站无毒| 国产高清视频一区在线观看| 年轻漂亮的人妻被公侵犯BD免费版| 免费看欧美大片| 美女脱内衣给男生摸露出奶头| 无码字幕AV一区二区三区| 亚洲 另类 日韩 制服 无码| 又大又粗特黄A片免费看| 野花社区视频在线| 黄色成人网站免费无码AV| 少妇真人直播APP| 少妇大胆瓣开下部自慰| 在线看日本av| 午夜无码片在线观看影院Y| 免费看欧美大片| 日韩欧美视频一区二区三区| 色偷一区国产精品| 国产日韩在线电影|